新闻中心
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2026-09
微纳加工中心接待马来西亚高校师生参访，深化国际学术交流
8月27日，参加“马来西亚模拟集成电路设计培训”活动的马来西亚5所头部高校的40余名师生在深圳微纳研究院的组织下到访深圳技...
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2026-08
发挥公共服务平台效能，深化行业交流赋能产业协同
7月15日，深圳技术大学半导体微纳加工中心与深圳市智能传感行业协会带队的多家企业开展了实地参观考察与座谈交流活动。本次活...
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2026-07
设备精细化培训系列活动｜湿法刻蚀机
半导体微纳加工中心（以下简称“中心”）作为深圳市首个同时支撑化合物光电芯片与MEMS传感芯片上游制造的公共服务平台，为...
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2026-06
设备精细化培训系列活动｜原子层沉积仪
半导体微纳加工中心（以下简称“中心”）作为深圳市首个同时支撑化合物光电芯片与MEMS传感芯片上游制造的公共服务平台，为了...
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2026-06
设备精细化培训系列活动｜原子力显微镜
2026年4月30日，半导体微纳加工中心（以下简称“中心”）设备精细化培训系列活动之原子力显微镜（Park NX20）专场顺利开展...
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2026-06
设备精细化培训系列活动｜激光隐形切割机
半导体微纳加工中心（以下简称“中心”）作为深圳市首个同时支撑化合物光电芯片与MEMS传感芯片上游制造的公共服务平台，为了...
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2026-06
设备精细化培训系列活动｜离子束刻蚀机
半导体微纳加工中心（以下简称“中心”）作为深圳市首个同时支撑化合物光电芯片与MEMS传感芯片上游制造的公共服务平台，为了...
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2026-06
设备精细化培训系列活动｜临界点干燥仪
2026年5月26日，半导体微纳加工中心（以下简称“中心”）设备精细化培训系列活动之临界点干燥仪专场顺利开展。目的是提升师生...
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2026-06
设备精细化培训系列活动｜电子束蒸发镀膜机
半导体微纳加工中心（以下简称“中心”）作为深圳市首个同时支撑化合物光电芯片与MEMS传感芯片上游制造的公共服务平台，为了...
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2026-05
设备精细化培训系列活动｜磁控溅射镀膜机
薄膜沉积（Thin film deposition）是半导体及光学工业中最为重要的工艺之一，一般是在真空环境下，将某种金属或非金属以气相...