中心概况

中心简介

半导体微纳加工中心是深圳技术大学“十四五”期间重点建设的公共服务平台，是粤港澳大湾区高校中少数具备完整工艺能力的微纳芯片制造平台，也是国内高校系统中独立建成的规模最大、工艺最完整、运营职业化的化合物半导体光电芯片公共服务平台之一。作为深圳市首个同时支撑化合物光电芯片与MEMS传感芯片上游制造的公共服务平台，为深圳市“光载信息”和“智能传感”产业高质量发展提供关键支撑，筑牢深技大应用研究型人才培养根基。

定位与服务功能

中心以服务国家战略与区域产业为导向，重点支撑以下方面：

•人才培养 ：为高校、科研机构及企业提供从基础工艺培训到高端芯片设计的全链条教学与实践平台；

•技术突破 ：面向高端化合物光电芯片关键核心技术问题，开展关键工艺研发与先导技术攻关；

•产业赋能 ：服务深圳市“20+8”产业，服务大湾区半导体芯片产业发展。

能力与硬件设施

中心总投资3亿元，建筑面积2600平方米，其中千级、百级及万级洁净区面积达2100平方米，配置教学与研发主要工艺设备超过120台/套。中心通过高效的网络化实时监控和管理体系，提高设备的利用率，增强中心的开放服务能力。具备以下完整的工艺体系：

•6英寸硅基芯片工艺教学线 ：支撑微米级工艺教学与实训，覆盖光刻、刻蚀、薄膜、掺杂及测试等全流程；

•6英寸化合物光电芯片工艺线 ：兼容3/4/6英寸研发与中试验证，主要服务GaAs、InP、GaN基工艺，包含外延、光刻、刻蚀、薄膜、掺杂、切磨抛、表征测试等全流程工艺；

•6英寸硅基MEMS工艺线 ：支持从概念验证、工艺开发到中试验证；

•拓展工艺能力 ：大部分工艺设备兼容8英寸晶圆，在单步工艺上服务能力有提升。

科研支撑与协同发展

中心在光电芯片、高速射频芯片和智能传感芯片等领域开展前沿研究，构建了从基础研究到工艺实现、从中试到产业化的完整创新链条。中心将持续强化工艺能力建设，打造成为具备国际影响力的半导体微纳制造创新平台，为大湾区乃至全国半导体产业发展提供坚实的技术支撑与人才保障。