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仪器设备

扫描电子显微镜(SEM)

Hitachi (EDS:Oxford),SU8600 (EDS:ULTIM MAX 100)

聚焦离子束分析仪(FIB)

Thermo Fisher (CL:Gatan),Helios 5 UC (CL:450)

原子力显微镜(AFM)

Park,NX20

超声扫描显微镜

Nordson Sonoscan,D9650

探针式轮廓仪(台阶仪)

KLA,Tencor TM-P17

椭偏仪

Semilab,SE-2000

反射式膜厚光谱仪

Filmetrics,F40

共聚焦显微镜

KLA,ZetaTM-300

薄膜应力仪

FRONTIER SEMICONDUCTOR,FSM 500TC-R

金相显微镜(1号)

Leica,DM8000M

金相显微镜(2号)

Leica,DM8000M

金相显微镜(3号,光刻段)

Leica,DM8000M

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