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仪器设备

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首页仪器设备光刻

8nm电子束光刻机（EBL）

Raith，EBPG5150 Plus

350nm步进光刻机（Stepper）

Nikon，NSR 2205i14E

300nm激光直写光刻机

Heidelberg，DWL66+

800nm半自动接触对准光刻机

SUSS MicroTec，MA/BA8 Gen4

晶圆键合机

SUSS MicroTec，SB8 GEN2

自动涂胶显影机

全芯微，ACD6C-22

半自动掩膜版清洗机

全芯微，MCL9I-1

等离子体清洗机

稷以，Triton 40

喷胶机

SAWATEC AG，iSpray-300

匀胶机（1号）

雷博，AC200-PE

匀胶机（2号）

雷博，AC200-PE

匀胶机（3号）

雷博，AC200-PE

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