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仪器设备

8nm电子束光刻机(EBL)

Raith,EBPG5150 Plus

350nm步进光刻机(Stepper)

Nikon,NSR 2205i14E

300nm激光直写光刻机

Heidelberg,DWL66+

800nm半自动接触对准光刻机

SUSS MicroTec,MA/BA8 Gen4

晶圆键合机

SUSS MicroTec,SB8 GEN2

自动涂胶显影机

全芯微,ACD6C-22

半自动掩膜版清洗机

全芯微,MCL9I-1

等离子体清洗机

稷以,Triton 40

喷胶机

SAWATEC AG,iSpray-300

匀胶机(1号)

雷博,AC200-PE

匀胶机(2号)

雷博,AC200-PE

匀胶机(3号)

雷博,AC200-PE

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