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仪器设备

无氧烘箱

真萍,MOLWY-120

洁净室烘箱(光刻段1号)

真萍,MOLWG-120

洁净室烘箱(光刻段2号)

真萍,MOLWG-120

清洗甩干机(光刻段,3寸和4寸)

施密科,SS-T04-SG-02B

清洗甩干机(光刻段,8寸和6寸)

施密科,SS-T08-SG-02B

超声清洗机(1号)

洁盟,JM-23D-45/80

超声清洗机(2号)

深那,SN-30D-40

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