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真萍,MOLWY-120
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洁净室烘箱(光刻段1号)
真萍,MOLWG-120
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洁净室烘箱(光刻段2号)
真萍,MOLWG-120
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清洗甩干机(光刻段,3寸和4寸)
施密科,SS-T04-SG-02B
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清洗甩干机(光刻段,8寸和6寸)
施密科,SS-T08-SG-02B
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超声清洗机(1号)
洁盟,JM-23D-45/80
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超声清洗机(2号)
深那,SN-30D-40
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