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仪器设备

电感耦合等离子体刻蚀(ICP)(化合物)

OXFORD,PlasmaPro 100 Cobra

感应耦合等离子体刻蚀机(介质)

OXFORD,PlasmaPro 100 Cobra

感应耦合等离子体刻蚀机(金属)

OXFORD,PlasmaPro 100 Cobra

深硅刻蚀机

OXFORD, PlasmaPro 100 Estrelas

反应离子刻蚀机

SENTECH,SI 591

化学辅助离子束刻蚀机

OXFORD,Ionfab300

离子束刻蚀机

埃德万斯,IBE-200

等离子体去胶机

稷以,Virgo-D

二氟化氙气相刻蚀机(XeF2)

Mems Star,Orbis Alpha

湿法刻蚀机(金属刻蚀、去胶)

施密科,NBTJ-KS-06

湿法刻蚀清洗机(化合物、SiO2)

施密科,SS-T08-FSW-07B

化学蚀刻清洗台1

思恩,SS-T08-QJW-04B

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