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化学蚀刻清洗台2

思恩，SN-CECT-2-200-SZ

临界点干燥仪

Tousimis，Automegasamdri-936 Series C

清洗甩干机（湿法间，3寸和4寸）

施密科，SS-T04-SG-02B

清洗甩干机（湿法间，8寸和6寸）

施密科，SS-T08-SG-02B

洁净室烘箱（湿法间1号）

真萍，MOLWG-120

洁净室烘箱（湿法间2号）

真萍，MOLWG-120

洁净室烘箱（湿法间3号）

真萍，MOLWG-288

洁净室烘箱（湿法间4号）

真萍，MOLWG-288

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