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仪器设备

化学蚀刻清洗台2

思恩,SS-T08-QJW-04B

临界点干燥仪

Tousimis,Automegasamdri-936 Series C

清洗甩干机(湿法间,3寸和4寸)

施密科,SS-T04-SG-02B

清洗甩干机(湿法间,8寸和6寸)

施密科,SS-T08-SG-02B

洁净室烘箱(湿法间1号)

真萍,MOLWG-120

洁净室烘箱(湿法间2号)

真萍,MOLWG-120

洁净室烘箱(湿法间3号)

真萍,MOLWG-288

洁净室烘箱(湿法间4号)

真萍,MOLWG-288

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