7月15日,深圳技术大学半导体微纳加工中心与深圳市智能传感行业协会带队的多家企业开展了实地参观考察与座谈交流活动。本次活动由深圳市智能传感行业协会统筹邀约行业企业,中心发挥公共服务平台效能承接落地,双方紧密协同,搭建技术交流场景和产学研用对接桥梁。本次活动汇聚业内多家企业,覆盖面贯通半导体产业链上下游,旨在进一步推动企业技术创新与平台资源高效融合。

参观过程中,围绕超净加工空间、光刻、刻蚀、薄膜沉积、表征检测等核心功能区块,中心向来访企业细致介绍整体硬件布局、设备配置、工艺研发能力、样品试制服务以及开放共享服务的实践案例,直观展示微纳加工全流程技术优势。来访嘉宾结合自身研发及生产需求,就设备性能、工艺精度、材料适配、研发周期、小批量试制、成本控制等实际问题向中心技术人员咨询,互动氛围浓厚务实。

座谈交流阶段,双方围绕技术联合开发、产品中试验证、人才培养、成果共享等议题展开讨论交流。中心详细介绍了设备开放共享的服务模式、项目联合研发、技术人才共建等合作体系;智能传感行业协会立足行业整体发展现状,梳理产业链共性诉求,来访企业立足企业研发生产实际,针对工艺技术开发、新品验证、量产适配等问题与中心技术人员面对面交流探讨。

深圳技术大学半导体微纳加工中心是集研发、加工、检测、服务于一体的公共技术服务平台,聚焦化合物半导体光电芯片和MEMS等领域,承担着面向全行业开放共享科研设备、攻克共性工艺难题、为产业创新提供工艺支撑的职能。中心自2025年12月落成以来,截止目前为止,已服务数十家高校、科研及产业用户,服务范围涵盖工艺技术开发、概念验证、中试及小量生产等,部分工艺设备的产能已供不应求,经济效益和社会效益初显。