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微纳加工中心接待马来西亚高校师生参访,深化国际学术交流

2026-09-02 次浏览

8月27日,参加“马来西亚模拟集成电路设计培训”活动的马来西亚5所头部高校的40余名师生在深圳微纳研究院的组织下到访深圳技术大学半导体微纳加工中心参观交流,实地参观超净实验室与核心工艺设备,近距离了解半导体芯片从设计到制造过程中涉及的关键工艺与先进设备,进一步推动中心的国际学术开放与交流。

参观活动伊始,中心向来访师生播放了中心宣传介绍视频,系统介绍了中心的平台建设、仪器设备及技术服务能力,使师生们对中心的发展概况和整体技术能力有了初步了解。随后,视频通过动画形式生动讲解了化合物半导体光电芯片VCSEL芯片的制作流程,帮助同学们进一步了解半导体芯片制造过程中涉及的材料生长、光刻、薄膜沉积、刻蚀等关键工艺环节。

在中心工作人员的带领下,师生们随后来到参观走廊,通过玻璃窗近距离了解中心实验室的整体布局和实际运行环境。工作人员对实验室内的主要工艺区域进行了详细介绍,并结合实际设备和工艺应用,系统讲解了光刻、镀膜、刻蚀、测试表征以及切磨抛等关键工艺流程。通过现场讲解与实地参观相结合的方式,师生们对半导体芯片制造流程及微纳加工技术形成了更加直观、系统的认识。

本次参观交流活动将理论设计与制造实操多视角相结合,不仅为来自马来西亚的师生们提供了了解半导体制造工艺和微纳加工技术的机会,也进一步加强了设计与制造之间的有机衔接。

本次马来西亚师生来访参观,是微纳加工中心推进国际学术交流的举措之一。未来,中心将继续依托先进的设备资源和技术平台,积极开展国际学术交流,拓展深圳技术大学和半导体微纳加工中心的国际影响力,打造国际化的微纳技术创新与人才培养平台。

作为面向产学研转化的公共服务平台,中心不仅面向国内的科研团队和创新企业开放,也向国际客户开放,提供工艺研发与中试支撑服务,推动微纳技术产业的创新发展与成果落地。