第一章 总则
第一条 为保障半导体微纳加工中心（以下简称“中心”）仪器设备安全、稳定、高效运行，规范用户使用行为，依据《深圳技术大学仪器设备类固定资产管理办法》等相关规定，并参照国内同类型开放共享平台先进管理制度，制定本办法。
第二条 本办法适用于所有申请使用中心仪器设备的用户，包括校内师生、兄弟院校用户、科研院所及企业研发人员。
第三条 中心仪器设备使用实行“培训授权、预约使用、有偿服务、违规必究、奖惩分明”的原则。用户应严格遵守操作规程，爱护公共财物。
第四条 中心对用户违规行为实行“预防为主、教育与处罚相结合”的原则。任一违规行为一经查实，视情节轻重给予相应处罚。
第二章 预约和权限
第五条 所有仪器设备须通过中心预约系统进行预约（https://cmnf.sztu.edu.cn/yqsb/gk.htm），严禁口头预约、私下换时或抢占。用户须使用本人账户预约和使用仪器设备，严禁借用、冒用他人账户。取消预约须至少在开始时间前1小时完成，逾期取消或未到场的，按预约时长收取全额机时费。用户可在预约时段开始前15分钟或预约时段内刷卡进入洁净室；在预约时段结束后须完成设备恢复、清洁工作台后方可离开；超时占用他人时段，按超时部分的1.5倍计费。
第六条 用户权限：
1）授权普通用户：可在工作日8:30-17:30预约使用仪器设备。
2）授权高级用户：可在全年平台正常运行下的全时段预约使用仪器设备，但在非工作时间内使用时，需同时不少于2人在场。
3）用户账号停用重新开通后，仪器设备使用权限将降级为普通用户。
4）关于高级用户认定，需经仪器设备管理员考核通过。
第四章 违规行为与处罚
第七条 中心对仪器设备违规操作划分三个等级：一级违规（轻微）、二级违规（一般）、三级违规（严重）。
第八条 一级违规（轻微），指违反洁净室日常管理相关规定，但未对仪器设备、环境或他人造成直接影响的行为，包括但不限于以下情形：
1）将本人门禁卡/账户借给他人使用（未造成事故）；
2）未预约直接使用仪器设备，及预约后无故爽约；
3）仪器设备使用后未填写使用记录，或记录严重缺失（漏填关键参数）；
4）仪器设备使用后未及时清理个人实验区域，未清洁工作台，遗留物品或废弃物；
5）实验过程中擅自离开超过30分钟，仪器设备无人值守；
6）使用公共器皿（烧杯、量筒等）后未及时清洗；
7）未按规定使用公共器皿、试剂等，未按规定对化学品进行标识；
8）未经允许，擅自使用他人实验用品；
9）未经允许，擅自在洁净室内拍摄仪器设备相关照片。
处罚措施：
1）首次发现：口头警告，并记录在案；
2）累计两次：书面警告，撤销洁净室进入权限，需要重新参加洁净室安全培训，考核合格后重新开启权限。
第九条 二级违规（一般），指违反仪器设备或工艺操作规程，对仪器设备运行、实验环境或他人工作造成影响或潜在威胁的行为，包括但不限于以下情形：
1）未经设备培训授权，擅自操作仪器设备；
2）未按SOP规定使用仪器设备；
3）使用仪器设备后，未按规定将仪器设备恢复至待机或安全状态；
4）未经许可，擅自调整仪器设备参数或修改标准工艺流程；
5）进行涉及危险化学品的实验时，未按规定穿戴防护装置，例如防护手套、护目镜、防酸碱服等；
6）在仪器设备专用计算机上进行与使用设备无关的行为，例如私自安装软件、玩游戏等；
7）未经允许擅自使用中心收费耗材（如贵重镀膜材料、探针、掩膜版等）；
8）未经批准将配件、耗材等带出中心洁净室；
9）以篡改记录、中断信号等方式逃避机时费。
处罚措施：
1）首次发现：书面警告，并记录在案，停用相关仪器设备使用权限1个月；
2）累计两次：撤销洁净室进入权限及仪器设备使用权限，需要重新参加实验室安全培训、设备操作培训，考核合格后重新开启相关权限；
3）造成中心财产损失、人员伤害的，全额赔偿。
第十条 三级违规（严重），指因违规操作导致仪器设备故障、损坏或引发安全事故，造成财产损失、人员伤害或恶劣影响的行为，包括但不限于以下情形：
1）将本人门禁卡/账户借给他人使用（造成事故）；
2）恶意违规操作导致设备故障、损坏或性能下降；
3）擅自拆装、移动仪器设备（无论是否造成损坏）；
4）发生仪器设备异常或事故后，隐瞒不报、伪造记录、拖延通知（超过2小时）；
5）使用未申报的样品（如含挥发性强酸、剧毒品、易燃易爆品等）导致仪器设备污染或损坏；
6）不按规定操作使用危险化学品并造成人员伤亡或仪器设备损失；
7）因操作不当或违规操作引发安全或仪器设备事故，例如化学品泄漏、气体泄漏、火灾等；
8）恶意破坏、盗窃设备或设备里存储的数据；
9）半年内多次二级违规行为（≥3次）；
10）其他严重威胁人员或仪器设备安全，扰乱实验秩序，影响恶劣的行为。
处罚措施：
1）首次发现：永久撤销实验室进入权限，全校通报；
2）造成中心财产损失的、造成人员伤害的，全额赔偿；
3）涉及违法犯罪的，移交相关部门处理。
第十一条 如同时出现多种违规行为，处罚措施可叠加。
第十二条 如两年内重复出现违规行为，处罚加倍。
第五章违规认定
第十三条违规认定流程
1）仪器设备负责人发现用户违规行为后，2个工作日内与用户进行面对面沟通，告知违规事实、初步处罚意见及依据。仪器设备负责人填写《违规事件记录表》，用户可当场提出说明或解释。
2）用户对违规认定或处罚有异议的，可在收到《违规事件记录表》后3个工作日内向中心管理人员提交书面申诉（须附相关证据）。逾期未申诉视为认可违规事实。
3）中心管理人员收到申诉后7个工作日内召开会议，对违规事件进行讨论。复议结果为最终决定。
4）复议结果确定后，仪器设备负责人填写《违规处罚确认单》，列明处罚内容（停权期限、赔偿金额、复训要求等），用户须在3个工作日内签字确认。用户拒不签字的，处罚决定仍生效，中心将以邮件形式送达用户/单位负责人。
第六章 损坏赔偿
第十四条 因用户违规操作造成仪器设备损坏或性能下降的，以及其他财产损失的，按以下标准赔偿：
1）仪器设备可维修：全额赔偿实际维修费用（含配件、人工、运输等）；
2）仪器设备无法维修：全额赔偿同品牌同型号仪器设备（或其他性能同等的仪器设备）的市场价金额，其他性能同等的仪器设备需获得中心评估认可。
3）耗材/配件丢失或损坏：按采购价的120%赔偿（含管理成本）。
4）其他财产损失：由中心评估，全额赔偿。
第十五条 赔偿责任由用户及其所在课题组（或单位）共同承担。中心通知该用户所在课题组（或单位）。
第十六条 赔偿款项须在收到书面通知后15个工作日内缴清至学校指定账户。校外用户未按期缴清的，中心保留法律追诉权利，并暂停该用户及其所在单位全部人员的仪器设备使用资格。
第七章 申诉与执行
第十七条 用户若认为受到设备工程师或管理人员不公正对待，可向中心负责人投诉。
第十八条 中心管理人员负责违规行为的监督、取证和认定，认定依据包括：预约系统日志、设备使用记录、监控录像、现场检查记录、用户实名举报等。
第八章 附则
第十九条 中心提倡爱护仪器设备行为，对于及时发现隐患及时处理并上报避免事故发生或扩大者，通报表扬。
第二十条 校内外用户对中心开放服务的建议、意见、投诉，可反映至中心办公室或发送至cmnf@sztu.edu.cn。
第二十一条 本办法自发布之日起施行。
第二十二条 本办法在建设与运行管理过程中不断完善，由半导体微纳加工中心负责解释和修订。
