1.目的

本规定旨在为湿法刻蚀间废弃化学品回收及排放提供管理指引，确保回收及排放符合安全规范，保障人员和环境的安全。

2.适用范围

规定了在湿法刻蚀间产生的废液的处理方式

3.湿法刻蚀间废液回收及排放规定

1）湿法刻蚀区域的废液回收集中处理由管理员负责，其他人员无授权不得处理。

2）湿法刻蚀间设有集中回收的区域，包括酸类废液回收桶、碱类废液回收桶、有机回收桶、有毒药剂回收等，药槽的废液排放到设备自带的废液桶。

3）烧杯实验中产生的酸类（如硫酸/盐酸/硝酸）废液倒在酸废液桶；碱类（如KOH/NAOH）倒在碱类废液桶；有机类（如无水乙醇/丙酮）倒在有机溶液废液桶；三氯乙烯、四氯化碳、氯苯等有毒化药要单独回收并做好标识，如果已有做好标识的废液桶没有装满，可以直接倒入。

4）使用完带有残液的瓶子及包装应按照分类与废液桶一起回收，禁止随意处理。台面的残液用水稀释清洗后再用N2枪吹干。

5）排放药液槽废液前要观察废液桶液位，不要超过废液桶最大液位的2/3，以免排放过程中废液溢出污染洁净间。

6）其余未尽事项归实验室解释完善。如有用户违反规定造成人员、设备、环境损伤，将依据实际情况进行处罚并关闭洁净间权限。

4.附录：参考GB/T 31190-2014将废弃化学品分类如下表