1.目的
本规定旨在为湿法刻蚀间提供管理指引，以确保危化品的使用符合安全规范，保障人员、设备、环境的安全。
2.适用范围
人员在湿法刻蚀间域使用化学品时或者使用湿法刻蚀清洗设备实验时，需要遵守此规定
3.湿法刻蚀间安全规定
1）所有人员进入湿法刻蚀间需遵守安全规范，管理员有权进行监督与惩罚。
2）所有人员需经过培训后方可在湿法刻蚀间进行实验，权限在通过培训考核后由管理员开通。
3）实验前需熟知湿法刻蚀间用到的药品试剂的物化特性及意外伤害的紧急处理措施：
操作酸碱药剂应知晓应急药品和紧急冲眼器的位置及使用方法。
操作易燃易爆药剂应知晓灭火器位置及使用方法。
操作含有HF的药剂应知晓六氟灵/葡萄糖酸钙软膏的位置及使用方法。
4）未经许可的情况下，不得擅自携带化学药品进出超净间，未经管理员同意，不得私自配制药水。
5）如需外带药品进入湿法刻蚀间实验，需要至少提前3天线上申请（程序如校内用户自带化学品出入流程-半导体微纳加工中心），申请内容注明实验需求，药品数量及SDS，外带药品若需要存放在湿法刻蚀间，还需申请存放位置，由管理员审批通过后方可携入并放在指定的位置。携入时药品需要有唯一可辨识的标签，同时带有纸质SDS。
6）实验操作时，需穿戴相应的劳保防护用品：
酸碱实验时穿戴防酸碱手套，佩戴防酸碱溅射护目镜及围裙。
有机易挥发及有毒的药品实验需要戴头戴式防毒面具。
7）配制溶液时，应遵循：
操作必须在具备排风功能的实验台或槽内进行，尤其是易挥发有毒的药剂。
有水参与配制溶液时，先倒水，再倒入密度小的药剂，最后倒入密度大的药剂。
没有水参与配制溶液时，先倒密度小的药剂，再倒入密度大的药剂。
药剂的密度可以在供应商提供的SDS资料第九条“理化特性”中找到。
8）禁止配置和用独立容器盛放使用含HF的溶液，只可在中心固定的含HF溶液槽内进行实验。若不慎被BOE或HF灼伤眼睛或皮肤，一分钟内用六氟灵冲洗，冲洗时间15分钟以上，再用大量水冲洗，涂抹葡萄糖酸钙软膏后立即就医。
9）溶液加热时，要等到加热器/热板温度升到设定温度时，再放上器皿去加热。加热完毕后，关闭电源，等溶液冷却到室温才可以取出。
10）加热通风厨内有人在用热板，必要情况下若想与人共用，需要事前与别人确认是否会有药剂发生化学反应的风险，两个人的药剂可能发生化学反应则不可混用，没有化学反应才可以一起加热（一般有机与无机，酸、碱不能同时加热操作）。
11）实验时所有装有药品或装过药品的器皿需贴有唯一可辨识的标签或做标记，原则上需要人员全程看守，如需临时离开实验台，使用的器皿和药剂标签需写上使用人的联系方式，需要做好围挡，防止他人发生意外伤害。
12）实验时不慎把药剂洒在地面，若少量残液在地面且清楚如何处理，可自行用水清洗擦拭吹干，若面积大于400cm2应立即通知管理员处理。
13）烧杯实验产生的废液在实验结束后排放到固定的回收桶中，盐酸、硫酸、硝酸、AL蚀刻液等酸类倒在酸类废液桶，KOH、NAOH等碱类废弃物倒在碱类废液桶，丙酮、无水乙醇等有机类废弃物倒在有机溶液废液桶。管理员会定期检查/更换废液桶，如发现废液桶已满无法盛装废液，请立即联系管理员处理。
14）在倾倒废液时，如果有撒漏，参考上述第12条处理。
15）实验结束后要做好整理整顿工作：
药液槽废液排掉后用水冲洗药槽。
防护服及防酸碱溅射眼镜溅射到化学品的地方用水枪冲洗，再用N2吹干后整理放回原位。
一次性用品扔到对应的垃圾桶内。
电源、加热器、通风橱确认关闭，盖子盖好，挡门拉好。
私人物品全部带走。
在记录本上分别登记实验完整的开始和结束时间、目的、药剂名称等记录。
16）其余未尽事项归实验室解释完善。如有用户违反安全守则造成人员、设备、环境损伤，将依据实际情况进行处罚并关闭洁净间权限。
