1、电脑打开半导体微纳加工中心网站：https://cmnf.sztu.edu.cn/

2、点击“预约系统”后进入仪器设备页面，在左侧选择预约设备类别，右边选择对应设备。

3、以800nm半自动接触对准光刻机为例，点击“点击预约”按钮，进入预约系统登录页面。

4、预约系统登录分“校内登录”和“平台账户登录”

（1）校内用户（包括老师和学生）选择“校内登录”，点击立即登录后使用统一身份认证账号登录。

（2）校外用户选择“平台账户登录”，输入账号密码登录。

5、进入设备预约界面后，收费标准处会根据登录账号属于校内或校外自动展示机时费价格，用户点击“机时预约”按钮会提示工程师的联系方式，点击确定进入资格检查页面。

6、首次预约使用仪器设备须知：

（1）需先阅读洁净间安全培训公告，联系张老师13276275758预约培训时间，并在中心网站“下载专区”常用表格栏目中下载“工艺设备使用申请表”。接受安全培训合格后，请张老师在表格签字。

（2）安全培训通过后，点击蓝色“申请培训”和“申请使用”按钮，申请仪器设备操作培训和使用设备权限（注意：培训申请需导师在系统先审核通过），联系设备工程师参加培训，请携带并填写“工艺设备使用申请表”，培训结束后需工程师签字确认。

（3）仪器设备操作培训通过后，工程师会审核通过并授权设备预约权限，用户既可以预约设备机时。（注意：获得设备预约权限的用户，超过90天未预约使用设备，再次使用前需重新申请培训。）

7、用户预约仪器设备：

（1）需要使用中心提供的耗材等，需选择对应耗材，自带耗材的，选择无；然后选择预约时段后，点击下一步。

（2）选择使用性质，实验内容处进行简单描述，然后点击下一步。

（3）确认预约信息后，勾选我已仔细阅读并同意以上条款后，点击提交预约，完成预约。

注意：完成预约后，请准时前来使用设备（可提前15分钟进入洁净室）；如需取消预约，至少在开始前60分钟取消，未取消也未使用设备，也需按正常使用收费。