2026年3月27日（星期五）晚，伴随着晚间11至14节课的铃声敲响，深圳技术大学半导体微纳加工中心教学线迎来了具有里程碑意义的历史性时刻。当晚19:00至21:50，集成电路与光电芯片学院首门核心课程--“集成工艺化学”光刻全流程实验课在中心正式开课，并取得圆满成功。这不仅标志着学院在探索“产教融合、科教融汇”的高层次人才培养模式上迈出了坚实的第一步，更点亮了微纳制造领域应用型人才培养的新征程。

从“书本化学”到“工艺化学”：一场面向产业的课程改革

本次授课并非一次简单的课程启动，而是一次课程体系与教学范式的深刻变革。此次教学改革打破了传统普通化学教学的局限，将化学课程与集成电路工艺相结合，重心从基础化学理论向“面向企业需求的集成电路工艺化学”进行了战略性前移。这种转变旨在让半导体集成电路领域的学生更深入的学习和理解化学在芯片制造中的重要性，缩短学生从理论学习到产业一线应用的距离，精准对接半导体行业对应用研究型技术人才的迫切需求。

当晚的实验课上，学生们并未停留在枯燥的方程式记忆中，而是在无尘室里直面晶圆，亲身体验了从光刻胶涂覆、软烘、对准曝光、显影到坚膜的全过程。这种“全流程实战教学”让学生深刻理解了微观尺度下的材料反应机理与工艺控制要点。

体系构建：三大课程群撑起微纳制造人才摇篮

集成电路与光电芯片学院针对当前集成电路与微纳制造产业的发展痛点，对课程体系进行了大量创新性的改革与重构。构建了以“集成电路制备工艺实践”、“集成工艺化学”及“微机电系统技术”为核心的三大课程群；强化应用研究，面向应用研究型技术的发展需求，不仅设立了相应课程，更坚持“课程建设与教材编写并行”。目前，学院团队正紧锣密鼓地推进配套教材的编撰工作，未来将陆续出版包括实验教材及理论教材在内的系列成果，填补国内在该领域系统化应用型教材方面的空白。

展望未来：打造半导体集成电路工艺技术培养闭环

随着“集成工艺化学”首堂课的完美收官，学院已规划好了清晰的教学蓝图：

1)下一阶段：将深入开展“集成电路制备工艺实践”课程，培养学生掌握完整的芯片制造技能，覆盖光刻、PVD/CVD薄膜沉积、干/湿法刻蚀、掺杂、表征测试、封装测试等关键环节。

2)远期布局：开设《微机电系统技术》及其配套的MEMS工艺实践课，重点面向智能传感器、执行器等器件的制造工艺，进一步强化人才在半导体制造技术多领域的应用能力。

深圳技术大学半导体微纳加工中心作为我校重要的公共服务平台，致力于服务教学、科研和产业。本次实验课的成功开课是中心在支撑集成电路与光电芯片学院本科生实践教学方面迈出的第一步，未来，中心将继续深化校企合作，以真实的产业项目反哺教学，支持学院培养出一批懂原理、精工艺、能创新的半导体卓越工程师，为我国集成电路与微纳制造产业源源不断的输送“芯”动力。